JIB-4501 Multibeam – новая, простая в эксплуатации система РЭМ/ФИП (растровый электронный микроскоп/ионная пушка с фокусированным ионным пучком), объединяющая в себе ионную оптику и самую популярную в мире колонну РЭМ. Прибор JIB-4501 Multibeam обеспечивает высокую производительность в различных вариантах применения, от наблюдения образцов до их ионного микротравления.
Основные характеристики и отличительные особенности системы:
Тип источника электронов | гексаборид-лантановый катод (LaB6) |
Низковакуумный режим | есть |
Пространственное разрешение | 2,5 нм при 30 кВ ускоряющего напряжения |
Энергия электронного луча | от 0,3 до 30 кэВ |
Увеличение | от 5 до 300 000 крат |
Ток луча | 1 мкА максимум |
Детекторы | детектор вторичных электронов, детектор отражённых электронов |
Аналитические приставки-опции | система энергодисперсионного и волнодисперсионного микроанализа, система текстурного анализа поликристаллических образцов, спектральный анализ катодолюминесценции, охлаждающие (крио) и нагревающие столики образцов |
Система вакуумной откачки | 2 гетероионных насоса, турбомолекулярный насос, 2 форвакуумных насоса |
Система шлюзования | есть |
Источник ионов | жидкометаллический источник ионов галлия |
Пространственное разрешение при сканировании ионным пучком |
5 нм при 30 кВ ускоряющего напряжения |
Ускоряющее напряжение ионной пушки | от 1 до 30 кВ |
Увеличение при сканировании ионным пучком | 30 крат (для широкого поля зрения), от 100 до 300 000 крат |
Максимальный ток ионной пушки | 30 нА при 30 кВ ускоряющего напряжения |
Дополнительное оборудование | инфракрасная телекамера в камере образцов, система инжекции газа для прецизионного электронно-стимулированного напыления под электронным пучком |