Растровый аналитический электронный микроскоп JSM-7100F

Основной особенностью этого растрового электронного микроскопа является электронная пушка на базе катода Шоттки – пушка особой конструкции, "погружённая" в конденсорную линзу. Цель сочетания термополевого (Шоттки-) эмиттера и особой конструкции пушки – получение совокупности параметров, характерных для микроскопов с "холодным" полевым эмиттером (таких как высокая монохроматичность луча и яркость автоэмиссионной пушки), и параметров, характерных для микроскопов с прямонакальным вольфрамовым катодом (таких как максимальный ток луча и временная стабильность тока луча). Высокий ток луча позволяет использовать методы волнодисперсионного микроанализа и спектрального анализа катодолюминесценции, что невозможно или затруднительно на микроскопах с "холодным" полевым эмиттером.

  • Характеристики
Тип источника электронов термополевой эмиттер (катод Шоттки)
Низковакуумный режим опция
Пространственное разрешение 1,2 нм (при 30 кВ), 3 нм (при 1 кВ)
Энергия электронного луча от 0,5 до 30 кэВ
Увеличение от 10 до 1 000 000 крат
Ток луча от 1 пА до 200 нА
Детекторы детектор вторичных электронов, детектор отражённых электронов (опция)
Аналитические приставки-опции система энергодисперсионного и волнодисперсионного микроанализа, система текстурного анализа поликристаллических образцов, спектральный анализ катодолюминесценции, охлаждающие (крио) и нагревающие столики образцов, система электронно-лучевой литографии 
Столик образцов моторизован по всем пяти осям (X, Y, Z, “поворот”, “наклон”)
Система вакуумной откачки 2 диффузионных насоса, 2 ионных насоса
Система шлюзования включена в базовый комплект

 

Заявка на обратный звонок
При заполнении формы Вы даете согласие на обработку персональных данных.