JSM-7800F оснащен электронной пушкой на базе эмиттера Шоттки, супергибридной объективной линзой (конической объективной линзой, использующей скрещенные электростатические и электромагнитные поля) и новым пользовательским интерфейсом. Имея в распоряжении такие мощные функции, даже начинающий пользователь может легко получать изображения со сверхвысоким разрешением. Комбинация магнитных и электростатических полей обеспечивает превосходный эффект, значительно улучшая разрешение растрового электронного микроскопа особенно при низких ускоряющих напряжениях. Кроме того, стандартный нижний детектор обеспечивает детектирование отраженных электронов, испускаемых при малых углах. Работа в режиме детектирования этих электронов позволяет снизить эффект электростатического заряда на поверхности образца. JSM-7800F имеет новую функцию, которая позволяет одновременно, в режиме реального времени, наблюдение изображений с четырех детекторов. В результате, вы всегда можете легко найти соответствующий вашим потребностям сигнал изображения. Кроме того, применяя напряжение смещения на образце, вы можете наблюдать непроводящие образцы, в том числе изоляционные материалы (керамика и т.д.) и полупроводники.
Тип источника электронов | эмиттер Шоттки |
Пространственное разрешение | 1,0 нм гарантированно (ускоряющее напряжение 15 кВ, обычный режим); 0,8 нм гарантированно (ускоряющее напряжение 15 кВ, низковольтный режим); 1,5 нм гаранти- рованно (ускоряющее напряжение 1 кВ, обычный режим); 1,2 нм гарантированно (ускоряющее напряжение 1 кВ) |
Энергия электронного луча | от 100 эВ до 30 кэВ |
Увеличение | от 25 до 1 000 000 крат |
Ток луча | 200 нА максимум |
Аналитические приставки - опции | ЭДС, ВДС, ДОЭ, анализаторы катодолюминесценции |
Максимальный размер образца | диаметр до 100 мм |
Столик образцов | ось Х: 70 мм, ось Y: 50 мм, ось Z: от 2 до 41 мм (непрерывно); наклон: от - 5 до 700; вращение: 3600 непрерывно |
Система вакуумной откачки | турбомолекулярная и ионная |
Система шлюзования | есть |