Микроскоп JSM-IT300LV это растровый электронный микроскоп с возможностью работы в низковакуумном режиме. Оснащён удобным и понятным пользовательским интерфейсом. Обладает высокой производительностью за счёт высокоскоростного столика образцов и возможностью управления посредством сенсорного экрана, как дополнением к высококачественной электронной оптике с усовершенствованной системой вакуумной откачки и системой захвата и построения изображения.
Тип источника электронов | прямоканальный вольфрамовый или гексаборидлантановый |
Низковакуумный режим | от 10 до 650 Па |
Пространственное разрешение | 3 нм при 30 кВ, 15 при 1 кВ |
Пространственное разрешение в низковакуумном режиме |
4 нм |
Энергия электронного луча | от 300 эВ до 30 кэВ |
Увеличение | от 5 до 300 000 крат |
Ток луча | от 1 пА до 1 мкА |
Аналитические приставки-опции | ЭДС, ВДС, ДОЭ, анализ катодолюминесценции, тензостолики, температурные столики |
Максимальный размер образца | 200 мм диаметром, 80 мм толщиной |
Столик образцов | эвцентрицный, 5 координат, моторизован по всем осям |
Система вакуумной откачки | турбомолекулярный насос, форвакуумные насосы |
Система шлюзования | опция |