Основой прибора является камера образцов с прецизионным гониометром, причем перемещение по осям X, Y, Z осуществляется мощными шаговыми двигателями, обладающими весьма большим ресурсом. Минимальный шаг перемещения составляет 0,2 мкм (опция, в стандартном исполнении – 0,5 мкм). Такой гониометр необходим для получения карт распределения элементов путем механического сканирования столика по растру относительно неподвижного электронного зонда.
Основные особенности и преимущества микроанализатора JXA-8230:
Диапазон анализируемых элементов | от 4(Ве) до 92(U) |
Диапазон длин волн | от 0,087 до 9,3 нм |
Количество волновых спектрометров | от 1 до 5 |
Энергодисперсионный спектрометр | встроена безазотная система ЭД микроанализа |
Диапазон перемещения столика образцов | 100 мм по X и 100 мм по Y |
Точность позиционирования образца | 0,5 мкм |
Анализируемая область | 90 мм х 90 мм |
Скорость сканирования столиком образцов | 15 мм/сек |
Энергия электронного зонда | от 0,2 до 30 кэВ (шаг 100 эВ) |
Ток зонда | от 1 пА до 10 мкА |
Стабильность тока зонда | +/- 0,05%/час +/-0,3%/12 часов |
Разрешение во вторичных электронах | 6 нм для вольфрамового катода и 5 нм для гексаборидлантанового катода |
Изображение в отражённых электронах | топографический и композиционный контраст |
Увеличение | от 40 до 300 000 крат |