Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F Hyperprobe с термополевым источником электронов

На базе пушки с катодом Шоттки, обеспечивающей ток 200 нА высокой стабильности, и хорошо отработанной конструкции электронно-зондовых микроанализаторов серии JXA-8230 Superprobe фирмой JEOL разработан электронно-зондовый рентгеновский микроанализатор с термополевой электронной пушкой модели JXA-8530F Hyperprobe.

В модели JXA-8530F имеется встроенный энергодисперсионный спектрометр, который расширяет число каналов до 13. Таким образом, из каждой точки образца одновременно можно получить информацию от 1 до 13 (в зависимости от модели прибора и числа волновых каналов) элементов.