На базе пушки с катодом Шоттки, обеспечивающей ток 200 нА высокой стабильности, и хорошо отработанной конструкции электронно-зондовых микроанализаторов серии JXA-8230 Superprobe фирмой JEOL разработан электронно-зондовый рентгеновский микроанализатор с термополевой электронной пушкой модели JXA-8530F Hyperprobe.
В модели JXA-8530F имеется встроенный энергодисперсионный спектрометр, который расширяет число каналов до 13. Таким образом, из каждой точки образца одновременно можно получить информацию от 1 до 13 (в зависимости от модели прибора и числа волновых каналов) элементов.
Диапазон анализируемых элементов | от 4 (Be) до 92 (U) |
Диапазон длин волн | от 0,087 до 9,3 нм |
Количество волновых спектрометров | от 1 до 5 |
Максимальный размер образца | 100 мм х 100 мм х 50 мм (В) |
Анализируемая область | 90 мм х 90 мм |
Скорость сканирования столиком образцов | 15 мм/сек |
Энергия электронного зонда | от 1 до 30 кэВ (шаг 100 эВ) |
Ток зонда | от 10 пА до 0,5 мкА |
Стабильность тока зонда | +/- 0,5 %/час |
Разрешение во вторичных электронах | 3 нм |