Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F Hyperprobe с термополевым источником электронов

На базе пушки с катодом Шоттки, обеспечивающей ток 200 нА высокой стабильности, и хорошо отработанной конструкции электронно-зондовых микроанализаторов серии JXA-8230 Superprobe фирмой JEOL разработан электронно-зондовый рентгеновский микроанализатор с термополевой электронной пушкой модели JXA-8530F Hyperprobe.

В модели JXA-8530F имеется встроенный энергодисперсионный спектрометр, который расширяет число каналов до 13. Таким образом, из каждой точки образца одновременно можно получить информацию от 1 до 13 (в зависимости от модели прибора и числа волновых каналов) элементов.

  • Характеристики
Диапазон анализируемых элементов от 4 (Be) до 92 (U)
Диапазон длин волн от 0,087 до 9,3 нм
Количество волновых спектрометров от 1 до 5
Максимальный размер образца 100 мм х 100 мм х 50 мм (В)
Анализируемая область 90 мм х 90 мм
Скорость сканирования столиком образцов 15 мм/сек
Энергия электронного зонда от 1 до 30 кэВ (шаг 100 эВ)
Ток зонда от 10 пА до 0,5 мкА
Стабильность тока зонда +/- 0,5 %/час
Разрешение во вторичных электронах 3 нм

 

Заявка на обратный звонок
При заполнении формы Вы даете согласие на обработку персональных данных.