SEM5000 — это многофункциональный сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения на полевой эмиссии (FE-SEM, FEG SEM). Особенности: усовершенствованная конструкция колонны, технология высоковольтного туннелирования (SuperTunnel), конструкция магнитной линзы объектива с низкой аберрацией и защитой от утечек для получения изображения с высоким разрешением при низком напряжении, а также возможность применения магнитных образцов. Оптическая навигация, расширенные автоматические функции, продуманное взаимодействие пользователя с прибором и оптимизированная работа.
Источник электронов:
автоэмиссионный катод Шоттки
Разрешение:
1.0 нм при 15 кВ (SE)
1.5 нм при 1 кВ (SE)
0.8 нм при 30 кВ (STEM)
Увеличение:
от 1 до 2 500 000x
Ускоряющее напряжение:
20 В - 30 кВ
Основные параметры |
Разрешение |
1.0 нм при 15 кВ (SE) 1.5 нм при 1 кВ (SE) 0.8 нм при 30 кВ (STEM) |
Ускоряющее напряжение |
20 В - 30 кВ |
|
Увеличение |
1 - 2 500000 x |
|
Тип источника электронов |
автоэмиссионный катод Шоттки |
|
Работа с образцом |
Вакуум |
5×10-4 Па |
Диапазон перемещений столика |
X:120 мм Y:115 мм Z: 50 мм T: -10° ~+90° R: 360° |
|
Программное обеспечение |
Навигация |
Оптическая навигация, быстрая навигация при помощи мыши |
Детектор |
Стандарт |
Высокоугловой, встроенный в колонну детектор вторичных электронов Малоугловой боковой детектор вторичных электронов. |
|
Опции |
EDS, EBSD, SED, STEM и другие |