Микроскоп высокого разрешения на полевой эмиссии SEM5000

SEM5000 — это многофункциональный сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения на полевой эмиссии (FE-SEM, FEG SEM). Особенности: усовершенствованная конструкция колонны, технология высоковольтного туннелирования (SuperTunnel), конструкция магнитной линзы объектива с низкой аберрацией и защитой от утечек для получения изображения с высоким разрешением при низком напряжении, а также возможность применения магнитных образцов. Оптическая навигация, расширенные автоматические функции, продуманное взаимодействие пользователя с прибором и оптимизированная работа.

 

 

 

Источник электронов:
автоэмиссионный катод Шоттки

Разрешение:
1.0 нм при 15 кВ (SE)
1.5 нм при 1 кВ (SE)
0.8 нм при 30 кВ (STEM)

Увеличение:
от 1 до 2 500 000x

Ускоряющее напряжение:
20 В - 30 кВ

 

 

 

  • Характеристики

Основные параметры

Разрешение

1.0 нм при 15 кВ (SE)

1.5 нм при 1 кВ (SE)

0.8 нм при 30 кВ (STEM)

Ускоряющее напряжение

20 В - 30 кВ

Увеличение

1 - 2 500000 x

Тип источника электронов

автоэмиссионный катод Шоттки

Работа с образцом

Вакуум

5×10-4 Па

Диапазон перемещений столика

X:120 мм

Y:115 мм

Z:  50 мм

T: -10° ~+90°

R: 360°

Программное обеспечение

Навигация

Оптическая навигация, быстрая навигация при помощи мыши

Детектор

Стандарт

Высокоугловой, встроенный в колонну детектор вторичных электронов

Малоугловой боковой детектор вторичных электронов.

 

Опции

EDS, EBSD, SED, STEM и другие

Заявка на обратный звонок
При заполнении формы Вы даете согласие на обработку персональных данных.